捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發射掃描電子顯微鏡
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簡介：捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發射掃描電鏡，照明系統采用High Power Optics（高性能電子光學系統），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合G...
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捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒式（semi-in-lens）高分辨率場發射掃描電鏡，照明系統采用High Power Optics（高性能電子光學系統），可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束），可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。半浸沒式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細；浸沒式（in-lens）肖特基場發射電子槍壽命長，能獲得穩定的電流，這兩者的結合既兼顧了高分辨率觀察同時也能夠進行高空間分辨率分析。通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ，以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現的。
電子光學系統采用了高性能電子光學系統。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩定、快速、高精度的元素分析。
| 電子槍 | 肖特基場發射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 |
1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式：3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 幾pA ～ 200nA @ 15 kV |
| 自動光闌角最佳控制透鏡 | 內置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
| 檢測器 |
高位檢測器（SED） 低位檢測器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內置 |
| 樣品交換室 |
內置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的最大樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺 | 5軸馬達驅動、全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉: 360° |
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